日前，河南省科技廳、財政廳發布《關于2022年度河南省重大科技專項立項的通知》，昊華氣體聯合申報的“集成電路用電子化學品關鍵技術研究及產業化”獲立項支持。
該項目瞄準集成電路制造用電子材料，開展硅基基礎材料、電子氣體和光刻膠中間體研發與產業化，助力我國在器件核心材料制造等領域實現突破。昊華氣體承擔該項目子課題“光電子級超純氨的工藝研究和產業化任務”。
河南省重大科技專項聚焦國家重大戰略需求、河南省轉型發展需要，重點圍繞產業發展和服務民生公益的重大關鍵核心技術，提質龍頭骨干企業技術創新水平，支撐產業升級發展。