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高純度六氟化硫

PDF 192601

高純六氟化硫產品已經通過嚴格檢測清洗和蝕刻試驗，反饋的檢測報告表明該院產品完全符合“5N”指標，產品質量達到國際先進水平。

產品特性

分子量 146.06，常態下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣態物質，化學穩定性強，近年來高純六氟化硫（99.999％)在電子行業的應用發展迅速，是優良的蝕刻氣體。

應用說明

高純六氟化硫在微電子行業中的應用，主要可作為優良的蝕刻氣體，在光導纖維制造中，可作為單膜光纖隔離層摻添劑，還可作為重要的激光材料用在激光技術中。

應用領域

電子電器

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