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砷烷
hgm
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328213
砷烷（AsH3）是一種無色，密度高于空氣，可溶于水及多種有機溶劑的氣體。
產品特性
常溫下砷烷很穩定，分解成氫和砷的速度非常慢，但溫度高于230°C時，它便迅速分解。
應用說明
砷烷常用于特種電子器件生產的摻雜、離子注入等工藝中。
應用領域
能源和化學品
電子電器
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